广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利一种集成晶圆接地功能的静电卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798672U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423213074.1，技术领域涉及：H10P72/70；该实用新型一种集成晶圆接地功能的静电卡盘是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成晶圆接地功能的静电卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型具体涉及集成晶圆接地功能的静电卡盘，包括第一陶瓷介电层、吸附电极层、第二陶瓷介电层和金属基座，第一陶瓷介电层的上表面设置多个凸台；静电卡盘的边缘设置有多个通孔和或第一陶瓷介电层、吸附电极层和第二陶瓷介电层的外周侧壁设置有导电涂层；通孔内嵌设有导电陶瓷塞，导电陶瓷塞依次穿过第一陶瓷介电层、吸附电极层和第二陶瓷介电层且下端与金属基座接触；导电涂层的下端与金属基座接触。所述导电陶瓷塞和或导电涂层与第一陶瓷介电层、吸附电极层、第二陶瓷介电层连接并与金属基座接触，实现晶圆接地功能。导电陶瓷塞或导电涂层的设置可提高静电卡盘与晶圆的电接触面积，不易出现晶圆翘曲、破裂、刮伤、裂片的风险。
本实用新型一种集成晶圆接地功能的静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种集成晶圆接地功能的静电卡盘，其特征在于：包括由上至下依次设置的第一陶瓷介电层、吸附电极层、第二陶瓷介电层和金属基座，所述第一陶瓷介电层的上表面设置多个间隔分布的凸台；所述静电卡盘的边缘设置有多个通孔和或所述第一陶瓷介电层、吸附电极层和第二陶瓷介电层的外周侧壁设置有导电涂层；所述通孔由上至下依次贯穿第一陶瓷介电层、吸附电极层和第二陶瓷介电层，所述通孔内嵌设有导电陶瓷塞，所述导电陶瓷塞依次穿过第一陶瓷介电层、吸附电极层和第二陶瓷介电层且下端与金属基座接触；所述导电涂层的下端与金属基座接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东精瓷新材料有限公司，其通讯地址为：517000 广东省河源市高新区滨江路西边、高新五路南边(广东河米科技有限公司)厂房1栋一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励