柯尔微电子装备(厦门)有限公司吴祖生获国家专利权
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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利一种兼容多尺寸晶圆的背检载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798670U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520280870.2，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种兼容多尺寸晶圆的背检载台是由吴祖生;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容多尺寸晶圆的背检载台在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种兼容多尺寸晶圆的背检载台，包括圆盘状的载台主体、用于支撑产品膜的支撑组件、用于吸附产品膜的吸盘组件和用于定位并承接固定环的顶PIN组件；支撑组件包括置于载台主体顶面的第一支撑台、第二支撑台，第一支撑台、第二支撑台均为以载台主体的顶面中心为圆心的圆环形凸台，且第一支撑台位于第二支撑台的内侧；第一支撑台、第二支撑台之间的环形间隙为第一配合区，第二支撑台的外侧还设有环形的第二配合区，第一配合区、第二配合区内均呈圆周分布有吸盘组件和顶PIN组件。本申请的背检载台能够兼容8、12寸的晶圆，检测时能够具备较高的平面度，能够确保不会因为产品膜的下垂而影响检测效果。
本实用新型一种兼容多尺寸晶圆的背检载台在权利要求书中公布了：1.一种兼容多尺寸晶圆的背检载台，所述晶圆置于产品膜中心，所述产品膜的边缘贴有固定环，其特征在于，包括圆盘状的载台主体、用于支撑所述产品膜的支撑组件、用于吸附所述产品膜的吸盘组件和用于定位并承接所述固定环的顶PIN组件；所述支撑组件包括置于所述载台主体顶面的第一支撑台、第二支撑台，所述第一支撑台、第二支撑台均为以所述载台主体的顶面中心为圆心的圆环形凸台，且所述第一支撑台位于所述第二支撑台的内侧；所述第一支撑台、第二支撑台之间的环形间隙为第一配合区，所述第二支撑台的外侧还设有环形的第二配合区，所述第一配合区、第二配合区内均呈圆周分布有所述吸盘组件和顶PIN组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人柯尔微电子装备(厦门)有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市翔安区厦门火炬高新区(翔安)产业区洪垵路670号一层一单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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