无锡亘芯悦科技有限公司陈艳威获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利倍行程机构、传输装置及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223798654U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423022396.8,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型倍行程机构、传输装置及半导体设备是由陈艳威;黄俊芃设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本倍行程机构、传输装置及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种倍行程机构、传输装置及半导体设备,属于机械传动技术领域。该倍行程机构包括驱动机构和连接件,连接件与驱动机构驱动连接;安装板与连接件连接;承接件与安装板通过滑轨连接;传动组件分别与安装板和承接件连接,传动组件配置为能够在安装板的带动下,驱动承接件作往复运动。通过驱动机构驱动连接件带动安装板作往复运动,安装板带动传动组件转动,从而带动承接件与安装板同步向前运动,使得运动距离为安装板的运动距离和承接件的运动距离之和。该倍行程结构简单、占地面积小,可实现晶圆的长距离运输,减轻了机构的体积和重量,节约了生产成本。其中,安装板为多层结构,能够增强该倍行程机构的稳定性。
本实用新型倍行程机构、传输装置及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种倍行程机构,其特征在于,包括: 驱动机构1; 连接件2,与所述驱动机构1驱动连接; 安装板5,与所述连接件2连接; 承接件6,所述承接件6与所述安装板5通过滑轨4连接; 传动组件3,所述传动组件3分别与所述安装板5和所述承接件6连接; 所述安装板5包括底层板51和中层板52,所述中层板52通过所述滑轨4与所述底层板51连接,所述承接件6与所述中层板52之间通过所述滑轨4连接; 所述传动组件3包括同步轮31和同步带32;所述同步轮31位于所述中层板52两端,并与所述中层板52转动连接;所述同步带32套设于所述同步轮31的外侧,并与所述同步轮31抵接;所述传动组件3还包括驱动块33,所述驱动块33分布在所述同步带32两侧,并与所述同步带32抵接,所述驱动块33分别与所述承接件6和所述底层板51连接; 或所述传动组件3包括齿条安装块34和齿条35;所述齿条安装块34安装在所述底层板51上,所述齿条35分别与所述齿条安装块34和所述承接件6连接;所述传动组件3还包括齿轮36和传动轴37;所述齿轮36与所述齿条35啮合,所述齿轮36安装在所述中层板52的两端,所述齿轮36通过所述传动轴37与所述中层板52转动连接。
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