淮北翌光科技有限公司刘民强获国家专利权
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龙图腾网获悉淮北翌光科技有限公司申请的专利一种干法刻蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798645U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520136502.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种干法刻蚀装置是由刘民强;张明福;李坤鹏;张传祖;卓传奇;徐远;陈旭;胡永岚设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种干法刻蚀装置在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种干法刻蚀装置，包括：腔体；气体喷嘴组，位于腔体的内部顶面，用于向反应腔内通入气体；第一电极和第二电极，分别位于腔体的顶部和底部；第一电极和第二电极用于将通入的气体等离子化并产生等离子体；其中，气体喷嘴组包括主喷嘴和围绕主喷嘴设置的至少一圈的副喷嘴；主喷嘴位于腔体的内部顶面的中心区域，副喷嘴位于腔体的内部顶面的边缘区域；主喷嘴的喷气方向为腔体的内部顶面指向腔体的内部底面的方向，副喷嘴的喷气方向与主喷嘴的喷气方向的夹角大于0°且小于等于90°。本实用新型提供的技术方案，提高了对待刻蚀结构的中心区域和边缘区域刻蚀的均匀性。
本实用新型一种干法刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀装置，其特征在于，包括： 腔体； 气体喷嘴组，位于所述腔体的内部顶面，用于向所述腔体内通入气体； 第一电极和第二电极，分别位于所述腔体的顶部和底部；所述第一电极和第二电极用于将通入的气体等离子化并产生等离子体； 其中，所述气体喷嘴组包括主喷嘴和围绕所述主喷嘴设置的至少一圈的副喷嘴；所述主喷嘴位于所述腔体的内部顶面的中心区域，所述副喷嘴位于所述腔体的内部顶面的边缘区域；所述主喷嘴的喷气方向为所述腔体的内部顶面指向所述腔体的内部底面的方向，所述副喷嘴的喷气方向与所述主喷嘴的喷气方向的夹角大于0°且小于等于90°。
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