创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利晶圆浸泡机构及其翻转装置、晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520114999.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆浸泡机构及其翻转装置、晶圆清洗设备是由左国军;蔡嘉雄;孙伟设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆浸泡机构及其翻转装置、晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体生产设备制造领域，具体涉及一种晶圆浸泡机构及其翻转装置、晶圆清洗设备。本晶圆浸泡机构包括槽体，其内设置有翻转架，所述翻转架上设置有晶圆盒；翻转轴，分别与翻转架和翻转驱动连接；侧板，设置在槽体的一侧，所述侧板上设置有一对支架；所述翻转架铰接在支架上，以及，所述翻转驱动适于驱动翻转架以铰接点为轴心转动，使晶圆盒中的晶圆从竖直状态变为水平状态。本晶圆浸泡机构的翻转架在未翻转时，晶圆盒内的晶圆浸泡在浸泡机构内始终保持湿润状态；在翻转架翻转后，晶圆盒内的晶圆从竖直状态变为水平状态，便于机械手夹具夹取晶圆。
本实用新型晶圆浸泡机构及其翻转装置、晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆浸泡机构，其特征在于，包括： 槽体100，其内设置有翻转架200，所述翻转架200上设置有晶圆盒210； 翻转轴300，分别与翻转架200和翻转驱动400连接； 侧板500，设置在槽体100的一侧，所述侧板500上设置有一对支架510； 所述翻转架200铰接在支架510上，以及， 所述翻转驱动400适于驱动翻转架200以铰接点511为轴心转动，使晶圆盒210中的晶圆211从竖直状态变为水平状态。
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