天合光能股份有限公司吴超获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利基板处理腔室和基板处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520107891.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型基板处理腔室和基板处理设备是由吴超设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理腔室和基板处理设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基板处理腔室和基板处理设备，涉及半导体制备技术领域。本申请在基板处理腔室的壳体内设置混合腔、反应腔和承载装置，经混合腔混合的气体在反应腔内电离，电离产生的等离子体经反应腔底部的喷淋孔喷于承载装置承载的基板上，提高制备的薄膜的均匀性，简化薄膜制备过程，减少由于多步骤工艺带来的杂质污染风险，提升生产效率，降低生产成本。
本实用新型基板处理腔室和基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理腔室，其特征在于，包括： 壳体； 混合腔，位于所述壳体内，用于混合气体； 反应腔，位于所述壳体内且与所述混合腔连通，所述反应腔具有电极，用于对进入所述反应腔的气体进行电离； 承载装置，位于所述壳体内且位于所述反应腔下方，用于承载基板； 所述反应腔的底部设有若干个喷淋孔，所述喷淋孔用于将电离产生的电离子体喷于所述承载装置承载的基板上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天合光能股份有限公司，其通讯地址为：213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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