杭州昱芯微电子有限公司周光挺获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州昱芯微电子有限公司申请的专利一种芯片晶圆加工用清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798638U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520065663.5，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种芯片晶圆加工用清洗设备是由周光挺设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片晶圆加工用清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种芯片晶圆加工用清洗设备，包括清洗槽，所述清洗槽的一侧安装有控制终端，所述清洗槽的一侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过齿轮转动连接有转动轴。该芯片晶圆加工用清洗设备，通过驱动电机运行带动转动轴驱动十字板转动，使得四个浸泡篮分别浸泡或从清洗槽抬出，实现对浸泡篮盛放的晶圆自动浸泡抬出沥干水分，再通过浸泡篮移动至外壳处，通过驱动装置驱动涡轮扇运行，产生高强度风力，对浸泡篮内盛放的晶圆进行吹洗，将附着在晶圆表面的水渍进行吹除，同时吹除晶圆表面附着的污垢杂质，防止水渍干沽后产生水痕影响晶圆的后续加工效果，提升晶圆清洗后的清洁度。
本实用新型一种芯片晶圆加工用清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种芯片晶圆加工用清洗设备，包括清洗槽1，其特征在于：所述清洗槽1的一侧安装有控制终端2，所述清洗槽1的一侧固定连接有驱动电机3，所述驱动电机3的输出端通过齿轮转动连接有转动轴4，所述转动轴4的一侧固定连接有十字板5，所述十字板5的四周均通过转轴转动连接有浸泡篮6，所述清洗槽1顶部的一端固定连接有外壳7，所述外壳7的一侧固定连接有驱动装置8，所述驱动装置8的输出端安装有涡轮扇9。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州昱芯微电子有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区B10-601室-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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