新一新能源科技(衢州)有限公司倪志荣获国家专利权
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龙图腾网获悉新一新能源科技(衢州)有限公司申请的专利一种开放式气帘密封结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798634U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423275488.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种开放式气帘密封结构是由倪志荣设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种开放式气帘密封结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种开放式气帘密封结构，所述气帘密封结构包括设置在工艺腔体进料侧方向上的多级前气帘腔室；还包括设置在工艺腔体出料侧方向上的多级后气帘腔室；还包括设置在相邻气帘腔室之间的进气管道以及与对应气帘腔室连接的回收管道或排废管道；所述进气管道和回收管道与外部装有隔离气体的气罐构成气体循环系统。本实用新型在工艺腔体两侧采用特定的气帘密封结构对工艺腔体内的工艺气体进行密封，能够有效阻止工艺气体泄露至工艺腔体外，在实现工艺生产安全性的同时，使得硅片的气体蚀刻工艺过程能连续运行，从而提高刻蚀设备的产能。
本实用新型一种开放式气帘密封结构在权利要求书中公布了：1.一种开放式气帘密封结构，其特征在于：所述气帘密封结构包括设置在工艺腔体4进料侧方向上的多级前气帘腔室；还包括设置在工艺腔体4出料侧方向上的多级后气帘腔室；还包括设置在相邻气帘腔室之间的进气管道以及与对应气帘腔室连接的回收管道和或排废管道。
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