新一新能源科技(衢州)有限公司倪志荣获国家专利权
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龙图腾网获悉新一新能源科技(衢州)有限公司申请的专利能防止气体泄漏的氟刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798633U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423273148.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型能防止气体泄漏的氟刻蚀设备是由倪志荣设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本能防止气体泄漏的氟刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种能防止气体泄漏的氟刻蚀设备，包括反应腔，反应腔设有反应气体进入的反应通道和出气通道，原材料的传输机构贯穿反应腔，反应腔设有与传输机构相匹配的进料口和出料口，进出料口处以及反应通道内均设有用于封闭反应腔与外界连通的阀门；所述反应腔内设有净化气体进入的净化通道，净化气体能形成阻止反应气体外泄的气帘；所述阀门上设有用于阻止其开启的锁定机构，当反应腔内气压或者净化气体输入气压任一个达到设定值时，锁定机构允许阀门打开，否则不允许其打开；本装置能连续生产且能防止气体泄漏，结构简单成本低廉。
本实用新型能防止气体泄漏的氟刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种能防止气体泄漏的氟刻蚀设备，包括反应腔1，反应腔1设有反应气体进入的反应通道1-1和出气通道，其特征在于：原材料的传输机构贯穿反应腔1，反应腔1设有与传输机构相匹配的进料口和出料口，进出料口处以及反应通道1-1内均设有用于封闭反应腔1与外界连通的阀门2。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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