杭州富芯半导体有限公司黄晨获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利一种光阻供应装置及光阻容纳装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798628U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423206330.4，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种光阻供应装置及光阻容纳装置是由黄晨设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光阻供应装置及光阻容纳装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种光阻供应装置及光阻容纳装置，该光阻供应装置包括：第一容器，用于容纳光阻剂，基于所述第一容器表面的压力变化，光阻剂从所述第一容器中流出；第二容器，用于容纳所述第一容器，所述第二容器与所述第一容器之间设置有气体空间，基于所述气体空间的压力变化，所述第一容器表面的压力变化。根据本实用新型提供的光阻供应装置及光阻容纳装置，包括用于容纳光阻剂的第一容器以及用于容纳第一容器的第二容器，通过改变第二容器与所述第一容器之间气体空间的压力，使第一容器表面的压力变化，进而光阻剂从所述第一容器中流出，避免了光阻剂供应过程中产生结晶和气泡，提高了半导体产品的性能和良率。
本实用新型一种光阻供应装置及光阻容纳装置在权利要求书中公布了：1.一种光阻供应装置，其特征在于，包括： 第一容器，用于容纳光阻剂，基于所述第一容器表面的压力变化，光阻剂从所述第一容器中流出； 第二容器，用于容纳所述第一容器，所述第二容器与所述第一容器之间设置有气体空间，基于所述气体空间的压力变化，所述第一容器表面的压力变化。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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