江苏天芯微半导体设备有限公司葛绍理获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423107449.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种半导体加工设备是由葛绍理设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体加工设备，包括静电吸盘、射频功率源、直流电源和射频滤波器；所述静电吸盘内置直流电极，所述直流电极分别与所述射频功率源和直流电源电连接，所述直流电极与直流电源之间串联射频滤波器，所述射频滤波器包括第一端和第二端；所述第一端和第二端之间设有四分之一波长传输线等效电路；所述四分之一波长传输线等效线路包括电感元件、第一电容和第二电容。本实用新型的射频滤波器不仅可以防止耦合到直流电极的射频信号对直流电源造成损坏，还能滤除由于等离子体非线性系统产生的电极射频功率的奇次谐波分量。
本实用新型一种半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工设备，其特征在于，包括静电吸盘、射频功率源、直流电源和射频滤波器；所述静电吸盘内置直流电极，所述直流电极分别与所述射频功率源和直流电源电连接；所述直流电极与直流电源之间串联射频滤波器； 所述射频滤波器，包括： 第一端和第二端；所述第一端和第二端之间设有四分之一波长传输线等效电路； 所述四分之一波长传输线等效线路包括电感元件、第一电容和第二电容； 所述电感元件的一端与第一端电连接，电感元件的另一端与第二端电连接； 所述第一电容的一端与电感元件的一端电连接，且所述第一电容的另一端接地； 所述第二电容的一端与电感元件的另一端电连接，且所述第二电容的另一端接地。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏天芯微半导体设备有限公司，其通讯地址为：214111 江苏省无锡市新吴区新梅路58号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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