南方科技大学罗圣权获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利电磁力调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223798624U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423056657.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型电磁力调节装置是由罗圣权;李庚卓;汪强;吴勇波设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本电磁力调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种电磁力调节装置，包括沿第一方向间隔设置的两个电磁力模组，两个电磁力模组沿中间平面对称设置，电磁力模组包括线圈与磁体，线圈通电后能够产生磁场，至少部分磁体作用于线圈的磁场方向与线圈自身的磁场方向相同。两个电磁力模组中的线圈通电后，正对的两个线圈均位于对方的磁场范围内并产生相互的电磁力，由于磁体的磁极与相邻线圈通电后的磁极相反，磁体产生的磁场与相邻的线圈产生的磁场叠加，增大了线圈之间的电磁力大小，增加了电磁力调节装置所能调节的加工压力范围，在晶圆减薄过程中，使主轴保持平衡、稳定状态，以较便捷地调节晶圆的减薄厚度，提升晶圆减薄质量。
本实用新型电磁力调节装置在权利要求书中公布了：1.电磁力调节装置，其特征在于，包括： 电磁力模组，沿第一方向相对设置有两个，所述电磁力模组包括线圈与磁体，所述线圈通电后能够产生磁场，至少部分所述磁体作用于所述线圈的磁场方向与所述线圈自身的磁场方向相同。
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