湘潭宏大真空技术股份有限公司黄乐获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭宏大真空技术股份有限公司申请的专利等离子体发生器及磁控溅射镀膜机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223798396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423322588.0,技术领域涉及:H05H1/24;该实用新型等离子体发生器及磁控溅射镀膜机是由黄乐;祝海生;力家东;唐莲;徐璐设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体发生器及磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种等离子体发生器及磁控溅射镀膜机,等离子体发生器包括具有等离子体发生腔的壳体和用于向所述等离子体发生腔内通入气体的供气组件,所述等离子体发生腔设有多个进气口,所述供气组件设有一个用于通入气体的气源,每个进气口均与所述气源连通,所述等离子体发生器对应至少一个进气口设有用于调节进气量的调节阀。磁控溅射镀膜机设有该等离子体发生器。本实用新型具有可提高等离子体的能量密度均匀一致性、结构简单、成本低、易于实施应用等优点。
本实用新型等离子体发生器及磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了:1.一种等离子体发生器,包括具有等离子体发生腔11的壳体1和用于向所述等离子体发生腔11内通入气体的供气组件,其特征在于:所述等离子体发生腔11设有多个进气口12,所述供气组件设有一个用于通入气体的气源2,每个进气口12均与所述气源2连通,所述等离子体发生器对应至少一个进气口12设有用于调节进气量的调节阀3。
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