南京晶升装备股份有限公司毛瑞川获国家专利权
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龙图腾网获悉南京晶升装备股份有限公司申请的专利一种碳化硅外延炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223793274U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423231382.7，技术领域涉及：C30B25/08；该实用新型一种碳化硅外延炉是由毛瑞川;丁柏松;李辉;潘清跃设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅外延炉，包括外腔室、位于外腔室内的反应腔、位于反应腔内的若干小盘、进气通道和排气通道，外腔室内还设有用于加热反应腔的加热件，反应腔包括位于底部的大盘、围绕于大盘外侧的一圈侧壁、与侧壁顶部连接的顶板，小盘位于大盘上；大盘底部连接有旋转轴，进气通道穿过外腔室顶部及顶板与反应腔内部连通，排气通道穿过外腔室底部及大盘与反应腔连通。本实用新型在大盘上设置若干小盘，外延过程中大盘带动小盘旋转，实现同时生长多片衬底，提高生长效率，并保证各小盘外延层均匀性；通过设置垂直方向的进气通道及排气通道，使反应气体充分在反应腔内流动并与衬底接触，有效提高气体利用率，有利于降低生产成本。
本实用新型一种碳化硅外延炉在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延炉，其特征在于，包括外腔室1、位于外腔室1内的反应腔、位于反应腔内的若干小盘3、进气通道8和排气通道9，所述外腔室1内还设有用于加热反应腔的加热件4，所述反应腔包括位于底部的大盘6、围绕于大盘6外侧的一圈侧壁2、与侧壁2顶部连接的顶板7，小盘3位于大盘6上；所述大盘6底部的中心位置连接有旋转轴5，旋转轴5用于驱动大盘6旋转，所述进气通道8穿过外腔室1顶部及顶板7与反应腔内部连通，所述排气通道9穿过外腔室1底部及大盘6与反应腔连通。
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