东莞市恒泰贵金属科技有限公司凌荣杨获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市恒泰贵金属科技有限公司申请的专利一种能够保持真空度的溅射镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223793231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520041006.7,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种能够保持真空度的溅射镀膜装置是由凌荣杨;凌丽秀;闵玉香设计研发完成,并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能够保持真空度的溅射镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种能够保持真空度的溅射镀膜装置,涉及溅射镀膜技术领域。包括镀膜外壳,所述镀膜外壳的外缘固定连接有多组升降滑柱,所有所述升降滑柱朝向镀膜外壳的一侧之间共同滑动连接有一个升降盖板,所述升降盖板的底侧和镀膜外壳的顶侧相紧贴,所述升降盖板的底侧固定连接有一根升降连接柱,所述升降连接柱的底侧固定连接有一个基板夹持架。本实用新型通过升降滑柱的设置,方便工作人员带动升降盖板进行平稳升降,同时让和升降盖板相连接的镀膜基板进行同步的平稳升降,使得镀膜在拿取过程中保持稳定,不会发生流动,同时通过转动卡块的设置,固定升降盖板,讲镀膜基板暴露出来,方便工作人员更换基板。
本实用新型一种能够保持真空度的溅射镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种能够保持真空度的溅射镀膜装置,包括镀膜外壳101,其特征在于:所述镀膜外壳101的外缘固定连接有多组升降滑柱301,所有所述升降滑柱301朝向镀膜外壳101的一侧之间共同滑动连接有一个升降盖板105,所述升降盖板105的底侧和镀膜外壳101的顶侧相紧贴,所述升降盖板105的底侧固定连接有一根升降连接柱107,所述升降连接柱107的底侧固定连接有一个基板夹持架108,所述基板夹持架108的底侧安装有一片镀膜基板103,所述镀膜外壳101的底侧内壁固定连接有一根镀膜喷管203。
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