三星电子株式会社;美科陶瓷科技有限公司郑明燮获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社;美科陶瓷科技有限公司申请的专利基座及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115997338B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080104977.1，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权基座及其制造方法是由郑明燮;徐峻源;金成烈;林成龙;陈厦东;崔宰炫设计研发完成，并于2020-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座及其制造方法在说明书摘要公布了：公开了一种能够在晶圆的整个表面上进行均匀等离子体处理的基座及其制造方法。提供一种基座，包括：电介质板，具有上面装载有晶圆的上表面和面对上表面的下表面；以及埋置于电介质板中的内部RF电极和外部RF电极，其中，相对于下表面，内部RF电极埋置于其中的第一平面的高度小于外部RF电极埋置于其中的第二平面的高度。
本发明授权基座及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基座，包括： 电介质板，其包括在其上装载有晶圆的上表面和与所述上表面相对的下表面； 埋置于所述电介质板中的内部RF电极和外部RF电极；以及 连接构件，其用于将电力供应到所述外部RF电极， 其中，相对于所述下表面，所述内部RF电极被埋置于其中的第一平面的高度小于所述外部RF电极被埋置于其中的第二平面的高度，并且 其中，所述电介质板包括堆叠的下部预烧结体和上部预烧结体，所述内部RF电极形成在所述下部预烧结体上，所述外部RF电极形成在所述上部预烧结体上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社;美科陶瓷科技有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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