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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910849B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211113899.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由中泽和彦;森冈利仁;蒲裕充;太田乔设计研发完成，并于2022-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。在基板保持部，气体供给部在基板的下表面与基部的基面之间送出气体，形成趋向径向外方的气流。分隔板在基部的基面上与基板的外周缘相比配置在径向外侧，包围基板的周围。分隔板的内周缘与基板的外周缘在径向上彼此分离并且相对置。分隔板的上表面与基板的上表面在上下方向上位于相同位置、或者与基板的上表面相比位于下侧。在分隔板的下表面与基部的基面之间设有环状流路。分隔板固定于基部，利用基板旋转机构与基部一并旋转。由此，能够抑制供给至基板的上表面的处理液附着于基板的下表面。

本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其处理基板，所述基板处理装置的特征在于，具备： 以水平状态保持基板的基板保持部； 以在上下方向上延伸的中心轴为中心使所述基板保持部旋转的基板旋转机构；以及 相对于所述基板的上表面供给处理液的处理液供给部， 所述基板保持部具备： 基部，其具有与所述基板的下表面相对置并且从所述基板的外周缘向径向外方延伸的基面； 多个支承销，其在所述基面上沿周向排列，并且从所述基面向上方突出，与所述基板的所述下表面的外周部接触； 气体供给部，其向所述基板的所述下表面与所述基部的所述基面之间送出气体，形成趋向径向外方的气流；以及 环状的分隔板，其在所述基部的所述基面上与所述基板的所述外周缘相比配置在径向外侧，包围所述基板的周围， 所述分隔板的内周缘与所述基板的所述外周缘在径向上彼此分离且相对置，所述分隔板的上表面与所述基板的所述上表面在上下方向上位于相同位置或者与所述基板的所述上表面相比位于下侧，在所述分隔板的下表面与所述基部的所述基面之间设有环状流路，所述分隔板固定于所述基部并利用所述基板旋转机构与所述基部一并旋转， 所述基面在与所述多个支承销相比靠径向外侧且与所述分隔板的所述内周缘相比靠径向内侧具有倾斜面，所述倾斜面位于所述基板的所述外周缘的下方，并且随着趋向径向外方而趋向下方。

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