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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115598929B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210789658.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法是由寺泽千明设计研发完成，并于2022-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供能够同时实现高规格化和良好的光学性能的投影光学系统。具有凹面镜以及凸面镜并且使位于物体面上的光轴外的照明区域的图案的像按照凹面镜、凸面镜、凹面镜的顺序反射而投影到像面的投影光学系统具备配置于凹面镜与凸面镜之间的光路上的透镜群，所述透镜群包括具有第1非球面的第1透镜和配置于第1透镜与凸面镜之间并且具有第2非球面的第2透镜，在第1透镜的第1非球面中，在将第1非球面的位置Pcr、位置Psm处的光焦度分别设为将第1非球面中的光轴上的光焦度设为时，满足第2透镜的第2非球面具有用于补偿第1非球面中的从位置Pcr向位置Psm的光焦度变化的区域。

本发明授权投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种投影光学系统，具有凹面镜以及凸面镜，使位于物体面上的光轴外的照明区域的图案的像按照所述凹面镜、所述凸面镜、所述凹面镜的顺序反射而投影到像面，所述投影光学系统的特征在于， 具备配置于所述凹面镜与所述凸面镜之间的光路上的透镜群， 所述凹面镜是非球面， 所述透镜群包括具有第1非球面的第1透镜和配置于所述第1透镜与所述凸面镜之间并且具有第2非球面的第2透镜， 在所述第1透镜的所述第1非球面中，在将对所述照明区域进行二等分的子午平面和所述照明区域相交的线中的2个端点中的接近所述光轴的端点设为Yi，将远离所述光轴的端点设为Ya，将来自所述端点Yi的主光线入射的所述第1非球面的位置设为Pcr，将来自所述端点Ya的弧矢边缘光线入射的所述第1非球面的位置设为Psm，将所述位置Pcr、所述位置Psm处的光焦度分别设为φcr、φsm，将所述第1非球面中的所述光轴上的光焦度设为φoa时，满足 φsm-φcr|φoa|0， 并且构成为作为从所述位置Pcr向所述位置Psm的光焦度变化，光焦度从所述光焦度φcr至所述光焦度φsm在负的方向上变化， 所述第2透镜的所述第2非球面具有为了补偿所述第1非球面中的从所述位置Pcr向所述位置Psm的光焦度变化，光焦度从通过所述第1非球面的所述位置Pcr的光线入射的位置朝向通过所述第1非球面的所述位置Psm的光线入射的位置在正的方向上变化的区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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