北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司刘金豆获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115390370B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211153483.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法是由刘金豆;李文波;朱昕彤;张寒冰;杜志宏设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法。其中，模具的制造方法的步骤包括：提供第一衬底，在第一衬底的一侧形成光刻胶；对光刻胶远离第一衬底的一侧进行光刻，以使得一部分光刻胶变性，形成变性光刻胶；去除所述变性光刻胶，以在光刻胶远离第一衬底的一侧形成多个槽结构；在槽结构内填充金属，并使得金属覆盖光刻胶远离第一衬底的一侧，以形成模具。通过本实施例中的制造方法制造的模具，其具有较大的深宽比，可以用于制作悬空成像结构，也可以适当调整，作为悬空成像结构的一部分。
本发明授权模具的制造方法和悬空成像结构的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种悬空成像结构的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括： 提供第一衬底，在所述第一衬底的一侧形成光刻胶； 对所述光刻胶远离所述第一衬底的一侧进行光刻，以使得一部分所述光刻胶变性，形成变性光刻胶； 去除所述变性光刻胶，以在所述光刻胶远离所述第一衬底的一侧形成多个槽结构； 在所述槽结构内填充金属，并使得所述金属覆盖所述光刻胶远离所述第一衬底的一侧，以形成模具； 将所述模具从所述第一衬底剥离，并去除与所述模具连接的所述光刻胶； 提供第二衬底，在所述第二衬底的一侧形成透明材料层； 用所述模具模压所述透明材料层，以形成多个填充槽，并在所述填充槽内填充反射层； 沿垂直于所述反射层延伸的方向切割所述透明材料层和反射层，以形成包含第二衬底的第一结构和不包含第二衬底的第二结构； 将所述第二结构翻转，并将所述第二结构固定在所述第二衬底远离所述透明材料层的一侧，所述第一结构的所述金属层和所述第二结构的所述金属层以90°相交； 在所述透明材料层和所述反射层的表面覆盖保护层。
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