浙江鑫柔科技有限公司于洋获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江鑫柔科技有限公司申请的专利一种适用于柔性基材多次曝光对位装置及对位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115202159B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210624783.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种适用于柔性基材多次曝光对位装置及对位方法是由于洋;王华;江建国设计研发完成，并于2022-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于柔性基材多次曝光对位装置及对位方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于柔性基材多次曝光对位装置，包括真空载台和掩膜光罩，在所述的掩膜光罩背向真空载台的一侧具有摄像头，掩膜光罩上具有多个对位标记，在所述的真空载台外围布置有若干个调整机构，并且所述调整机构位于膜材行进的路径上；所述调整机构包括膜材抓取件和三轴移动模组，所述膜材抓取件固定于三轴移动模组上，本发明能够防止在卷对卷曝光二次套位误差过大、精度过低问题。
本发明授权一种适用于柔性基材多次曝光对位装置及对位方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于柔性基材多次曝光对位装置，包括真空载台和掩膜光罩，在所述的掩膜光罩背向真空载台的一侧具有摄像头，掩膜光罩上具有多个对位标记，其特征在于：所述装置用于柔性基材真空接触式卷对卷曝光；在所述的真空载台外围布置有若干个调整机构，并且所述调整机构位于膜材行进的路径上；所述调整机构包括膜材抓取件和三轴移动模组，所述膜材抓取件固定于三轴移动模组上；三轴移动模组的X轴模组、Y轴模组和Z轴模组采用任意的依次连接组合方式，使膜材抓取件固定于最后的一个连接的模组上；使用3角采用主动的移动式调整机构，另外1角采用固定式调整机构，在固定式调整机构中只有1个Z轴马达或是气缸的Z轴模组；调整时将固定式调整机构处的对位偏差值设为其它3个角的目标调整值，固定式调整机构处的对位偏差值为XMYN；其它3个有X、Y调整功能的移动式调整机构对位偏差值按照固定式调整机构的对位偏差值XMYN进行调整，其余3个的对位偏差值全部调整至XMYN。
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