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信越化学工业株式会社饭尾匡史获国家专利权

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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115113484B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210288306.6,技术领域涉及:G03F7/039;该发明授权正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法是由饭尾匡史;浦野宏之;渡边修;竹村胜也设计研发完成,并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法在说明书摘要公布了:本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题是为了提供在碱水溶液中为可溶,不会损及保护被膜的机械特性、密接性等优良的特征并能获得高分辨率,且即使在低温硬化时,机械特性、对基板的密接性仍良好的正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜。该课题的解决手段是一种正型感光性树脂组成物,其特征为含有:A含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱物结构中的至少1种以上的结构的碱可溶性树脂,B具有环化聚合而成的结构单元的高分子化合物,及C因光而产生酸并使其对碱水溶液的溶解速度增加的感光剂,且具有重氮醌结构的化合物。

本发明授权正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法在权利要求书中公布了:1.一种正型感光性树脂组成物,其特征为含有: A含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱物结构中的至少1种以上的结构的碱可溶性树脂, B具有环化聚合而成的结构单元的高分子化合物,及 C因光而产生酸并使其对碱水溶液的溶解速度增加的感光剂,且具有重氮醌结构的化合物; 该B成分中的该环化聚合而成的结构单元为下述通式1、下述通式2、下述通式3及下述通式4表示的结构单元中的至少1种以上; 式中,R1、R2、R3、R4、R5及R6分别独立地为氢原子或碳数1~5的直链状或分支状的烷基; 该B成分为更含有下述通式5或5’表示的结构单元、且更含有下述通式6表示的结构单元的交联型碱可溶性的高分子化合物; 式中,R7表示氢原子或甲基,X1分别为-C=O-O-、-C=O-O-R8-、-C=O-NH-、-C=O-NH-R8-或-C=O-NR8OH-;R8为2价的碳数1~12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6~12的芳香族烃基,且该脂肪族饱和烃基的碳原子也可被取代成氧原子;又,式中的芳香族烃基的氢原子也可被取代成甲基;p为0或1; 式中,R9表示氢原子或甲基,X2分别为-C=O-O-、或亚苯基或亚萘基;R10为也可含有酯基、醚基、芳香族烃基的碳数1~15的直链状、分支状或环状的亚烷基,R11为氢原子、碳数1~6的直链状、分支状或环状的烷基、或也可和R10键结并形成环;R12为氢原子、或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烷基,R13为氢原子、或碳数1~6的直链状的烷基,且也可和R10键结并形成环;m为0或1;p为0或1。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人信越化学工业株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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