株式会社斯库林集团臼本宏昭获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利载物台姿势推定装置、搬送装置以及载物台姿势推定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115023660B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180011089.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权载物台姿势推定装置、搬送装置以及载物台姿势推定方法是由臼本宏昭设计研发完成，并于2021-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本载物台姿势推定装置、搬送装置以及载物台姿势推定方法在说明书摘要公布了：该载物台姿势推定装置18具有：输入数据获取部91以及基于输入数据推定载物台的偏转角度的姿势推定部92。由此，在不始终设置大规模的测量装置的情况下能够推定载物台的偏转角度。另外，姿势推定部92基于由多个学习完毕模型M1、M2、M3……输出的多个临时推定值θ1、θ2、θ3……确定一个推定结果θr。由此，在搬送装置的多种动作状况下能够实现高推定精度。
本发明授权载物台姿势推定装置、搬送装置以及载物台姿势推定方法在权利要求书中公布了：1.一种载物台姿势推定装置，在通过搬送机构搬送平板状的载物台的搬送装置中推定所述载物台的偏转角度，其中， 具有： 输入数据获取部，获取由所述搬送机构输出的测量值或基于所述测量值算出的值作为输入数据；以及 姿势推定部，基于所述输入数据来推定所述载物台的偏转角度，并输出推定结果， 所述姿势推定部具有： 多个学习完毕模型，基于所述输入数据来输出所述载物台的偏转角度的临时推定值；以及 推定值确定部，基于由所述多个学习完毕模型输出的多个所述临时推定值来确定所述推定结果， 在所述多个学习完毕模型中设定有加权比率， 所述推定值确定部基于表示所述搬送机构的动作状态的状态变量来改变所述加权比率， 所述推定值确定部将使用了所述加权比率的多个所述临时推定值的加权平均值作为所述推定结果。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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