株式会社斯库林集团山口贵大获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及筒状护罩的加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114944349B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210134253.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及筒状护罩的加工方法是由山口贵大;泽岛隼;远藤亨;青木陆太设计研发完成，并于2022-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及筒状护罩的加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置及筒状护罩的加工方法。基板处理装置具备：旋转保持部件，其在保持基板的同时使上述基板绕着规定的旋转轴线旋转；液体供给部件，其向保持于上述旋转保持部件的基板供给液体；和树脂制的筒状护罩，其包围保持于上述旋转保持部件的基板。上述筒状护罩具有内周面和设于上述内周面的凹凸部。上述凹凸部具有多个凹部和位于彼此相邻的上述凹部彼此之间的多个凸部。上述凹部具有比从保持于上述旋转保持部件的基板飞散的液滴的直径小的宽度、和在上述液滴与多个上述凸部接触的状态下使上述液滴不与上述凹部的底部接触的深度。上述凸部具有比上述液滴的直径小且比上述凹部的宽度小的宽度。
本发明授权基板处理装置及筒状护罩的加工方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 旋转保持部件，其在保持基板的同时使所述基板绕着规定的旋转轴线旋转； 液体供给部件，其向保持于所述旋转保持部件的基板供给液体；和 树脂制的筒状护罩，其包围保持于所述旋转保持部件的基板， 所述筒状护罩具有内周面和设于所述内周面的凹凸部， 所述凹凸部具有多个凹部和位于彼此相邻的所述凹部彼此之间的多个凸部， 所述凹部具有比从保持于所述旋转保持部件的基板飞散的液滴的直径小的宽度、和在所述液滴与多个所述凸部接触的状态下使所述液滴不与所述凹部的底部接触的深度， 所述凸部具有比所述液滴的直径小且比所述凹部的宽度小的宽度， 所述凹部的深度为10μm以上， 所述凹部的宽度小于1.5mm， 所述凸部的宽度小于1.5mm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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