株式会社日立高新技术龟田寿昌获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利图案测定系统、图案测定方法和记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823399B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111531299.X，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权图案测定系统、图案测定方法和记录介质是由龟田寿昌;酒井计;角田纯一设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案测定系统、图案测定方法和记录介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种图案测定系统、图案测定方法和记录介质，无测定图案的制约而能够高精度地检测随机噪声成分，并且能够更高精度地测量边缘粗糙度。根据本公开，在取得的线图案图像中，对线图案的左边缘和右边缘分别进行图案匹配和边缘位置校正，生成没有粗糙度的图像。根据该图像测量PSD值，将全频率的平均PSD值作为随机噪声成分，由此能够高精度地检测随机噪声成分。并且，通过从原始图像的PSD值中减去该PSD值即随机噪声成分来高精度地测量边缘粗糙度。
本发明授权图案测定系统、图案测定方法和记录介质在权利要求书中公布了：1.一种图案测定系统，其使用通过向试样扫描带电粒子束或照射光而得到的信号来测定在所述试样上形成的图案，其特征在于， 所述图案测定系统具备： 存储装置，其存储用于对所述图案的信息进行处理的程序；以及 计算机，其从所述存储装置读入所述程序，对所述图案的信息进行处理， 所述计算机执行以下处理： 基于从所述图案得到的所述信号，生成所述图案的原图像、基于所述原图像的多个单独线轮廓、以及所述多个单独线轮廓的总和线轮廓； 将所述多个单独线轮廓分别划分为2个区域； 对于划分为所述2个区域的多个单独线轮廓和所述总和线轮廓，分别在单独线轮廓与总和线轮廓之间执行图案匹配； 基于所述图案匹配的结果，对所述多个单独线轮廓分别执行位置校正； 根据进行了所述位置校正的多个线轮廓生成所述图案的校正图像； 求出所述校正图像中的所述图案的边缘处的功率谱密度，对该功率谱密度进行平均来求出随机噪声成分； 通过取得所述原图像中的所述图案的边缘处的功率谱密度与所述随机噪声成分的差分来计算边缘粗糙度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社日立高新技术，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励