信越化学工业株式会社郡大佑获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114690555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111600298.6,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物是由郡大佑;橘诚一郎;野中汐里;荻原勤设计研发完成,并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物在说明书摘要公布了:本发明涉及有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物。本发明的课题是为了提供不损及树脂本身的碳含量且可展现高蚀刻耐性、优良的扭曲耐性的有机膜形成材料,以及提供使用了该有机膜形成材料的图案形成方法、及适于如此的有机膜形成材料的聚合物。该课题的解决手段为一种有机膜形成材料,其特征为含有:A具有下述通式1表示的重复单元的聚合物,及B有机溶剂;该通式1中,AR1、AR2、AR3及AR4为苯环或萘环,W1为具有至少1个以上的芳香环的碳数6~70的4价有机基团,W2为碳数1~50的2价有机基团。
本发明授权有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物在权利要求书中公布了:1.一种有机膜形成材料,其特征为含有: A具有下述通式1表示的重复单元的聚合物,及 B有机溶剂; 该通式1中,AR1、AR2、AR3及AR4为苯环或萘环,W1为具有至少1个以上的芳香环的碳数6~70的4价有机基团,且W1表示的4价有机基团在芳香环上具有原子键,且原子键相邻存在于芳香环的一边,W2为碳数1~50的2价有机基团。
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