北京华卓精科科技股份有限公司赵雄峰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种晶圆键合动态标定方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582773B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210055323.5，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆键合动态标定方法及装置是由赵雄峰;张豹设计研发完成，并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合动态标定方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆键合动态标定方法及装置，方法包括：传送晶圆至对应的晶圆载片装置上，获取晶圆信息，晶圆信息包括晶圆坐标系下的对准标记位置；判断对准标记识别装置、标定标记的位置是否都与对应晶圆的对准标记位置对齐，如果不对齐则分别控制对准标记识别装置和标定标记移动到都与对应晶圆的对准标记对齐，然后分别通过标定标记来标定对准标记识别装置的偏差量；对准标记识别装置分别识别晶圆的对准标记获得对准标记的偏差量，综合对准标记识别装置的偏差量，以及对准标记的偏差量来控制晶圆移动，使得一对晶圆的对准标记对准。本发明提前将标定标记和对准标记识别装置同步移动到对准标记相同的位置，可以大大降低对准误差，从而提高晶圆键合精度。
本发明授权一种晶圆键合动态标定方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合动态标定方法，用于使一对上下布置的晶圆对准，其特征在于，包括： 传送晶圆至对应的晶圆载片装置上，获取晶圆信息，所述晶圆信息包括晶圆坐标系下的对准标记位置； 判断对准标记识别装置、标定标记的位置是否都与对应晶圆的对准标记位置对齐，如果不对齐则分别控制对准标记识别装置和标定标记移动到都与对应晶圆的对准标记对齐，然后分别通过标定标记来标定对准标记识别装置的偏差量； 对准标记识别装置分别识别晶圆的对准标记获得对准标记的偏差量，综合对准标记识别装置的偏差量，以及对准标记的偏差量来控制晶圆移动，使得一对晶圆的对准标记对准， 所述标定标记设置在标定标记移动控制装置上，所述标定标记移动控制装置是滑轨，并且标定标记是在该滑轨上滑动的标记点。
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