江苏艾克赛勒金属科技有限公司钱晔获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏艾克赛勒金属科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆加工夹持翻转装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786507U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520246217.4,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种半导体晶圆加工夹持翻转装置是由钱晔;孙加俊设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆加工夹持翻转装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,具体涉及一种半导体晶圆加工夹持翻转装置,包括基座和定位夹持翻转组件,定位夹持翻转组件包括安置槽、夹持台、移动轴和转把,安置槽与基座固定连接,并位于基座的内部中心,夹持台与基座拆卸连接,并位于基座的内部,且夹持台设置在安置槽的内部中心,移动轴与夹持台转动连接,并位于夹持台的内部上方,转把与移动轴转动连接,并位于移动轴远离夹持台的一端,且转把设置在基座的上方一侧,通过将原有的夹持结构修改替换为定位夹持翻转组件,由此将有效的解决了现有的机械夹持装置又无法实现精准的翻转角度控制,在翻转过程中容易导致晶圆晃动、偏移甚至损坏,严重影响了加工质量和生产效率的问题。
本实用新型一种半导体晶圆加工夹持翻转装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆加工夹持翻转装置,包括基座,其特征在于, 还包括定位夹持翻转组件,所述定位夹持翻转组件包括安置槽、夹持台、移动轴和转把,所述安置槽与所述基座固定连接,并位于所述基座的内部中心,所述夹持台与所述基座拆卸连接,并位于所述基座的内部,且所述夹持台设置在所述安置槽的内部中心,所述移动轴与所述夹持台转动连接,并位于所述夹持台的内部上方,所述转把与所述移动轴转动连接,并位于所述移动轴远离所述夹持台的一端,且所述转把设置在所述基座的上方一侧。
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