江苏雷博微电子设备有限公司杨成获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏雷博微电子设备有限公司申请的专利一种晶圆片篮夹持机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786506U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520236345.0,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种晶圆片篮夹持机构是由杨成;谢鑫设计研发完成,并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片篮夹持机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆片篮夹持机构,包含夹持执行机构、平行设置且受夹持执行机构驱动作相向转动的旋转支臂、分别安装在两个旋转支臂上且位置呈对称状态的两组夹持爪;每组夹持爪包含至少两个对称设置的爪臂;所述爪臂包含管状勾爪、安装在管状勾爪头部的传感器、将管状勾爪和传感器套装在内部的保护套管;所述传感器的信号线依次通过管状勾爪、旋转支臂内的中空管路与夹持执行机构的控制模块信号连接。本实用新型结构简单,能对片篮状态进行全面监测,当片篮出现倾斜、叠篮等危险状态时,及时监测并停止运行,防止损坏晶片,避免损失进一步扩大。
本实用新型一种晶圆片篮夹持机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆片篮夹持机构,其特征在于:包含夹持执行机构3、平行设置且受夹持执行机构3驱动作相向转动的旋转支臂2、分别安装在两个旋转支臂2上且位置呈对称状态的两组夹持爪1;每组夹持爪1包含至少两个对称设置的爪臂4; 所述爪臂4包含管状勾爪5、安装在管状勾爪5头部的传感器6、将管状勾爪5和传感器6套装在内部的保护套管7;所述传感器6的信号线依次通过管状勾爪5、旋转支臂2内的中空管路与夹持执行机构3的控制模块信号连接。
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