浙江创芯集成电路有限公司史晓明获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆移动系统及晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520233452.8，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆移动系统及晶圆加工设备是由史晓明设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆移动系统及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种晶圆移动系统及晶圆加工设备，其中，晶圆移动系统包括机台、机械臂、发射装置、接收装置、信号处理单元和控制单元；机械臂安装在机台上，发射装置与接收装置中的至少一个安装于机械臂上，接收装置与发射装置相适配；发射装置朝向晶圆发射位置检测信号，接收装置接收到上述位置检测信号后传送给信号处理单元；信号处理单元对上述位置检测信号进行处理以判断晶圆的摆放位置是否出现异常。当判断出晶圆摆放位置出现异常后，控制单元可以控制机械臂重新移动晶圆至预设位置。如此，不仅能够避免由于晶圆摆放位置出现偏差而导致生产事故的发生，还免去了需要开腔进行故障排查及纠正的操作，有利于稳定和提高晶圆的产能。
本实用新型晶圆移动系统及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆移动系统，其特征在于，包括： 机台； 设有抓取件的机械臂，所述机械臂安装于所述机台上，所述抓取件用于获取和移动待加工的晶圆； 发射装置，所述发射装置用于朝所述晶圆发射位置检测信号； 与发射装置相适配的接收装置，用于接收所述位置检测信号，其中，所述发射装置与所述接收装置中的至少一个安装于所述机械臂上； 信号处理单元，所述信号处理单元适于从所述接收装置接收并处理所述位置检测信号，以判断晶圆的摆放位置是否异常； 控制单元，所述控制单元适于依据所述信号处理单元反馈的判断信息控制所述机械臂，以重新移动晶圆至预设位置。
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