浙江创芯集成电路有限公司靳忆帆获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786504U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520231781.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆承载装置是由靳忆帆;王典勇;梁志;张严;叶洲设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆承载装置，晶圆承载装置包括：卡盘、测试器、传输件以及温度监控器，其中，所述卡盘具有：第一端面，用于承载晶圆；测温孔，贯穿所述卡盘，所述测温孔在所述第一端面处的端口设置有定位槽，所述定位槽与所述测温孔同轴设置；所述测试器用于提供与预设温度值对应的红外信号，所述测试器的输出端在位于所述定位槽内时，与所述定位槽同轴设置；所述传输件用于传输所述测试器提供的红外信号，所述传输件的近端插设于所述测温孔内，且与所述测温孔同轴设置；所述温度监测器与所述传输件的远端连接，用于将所述传输件传输的红外信号转换为实测温度值。采用上述技术方案，能够提高监测精度。
本实用新型晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括： 卡盘，具有： 第一端面，用于承载晶圆； 测温孔，贯穿所述卡盘，所述测温孔在所述第一端面处的端口设置有定位槽，所述定位槽与所述测温孔同轴设置； 测试器，用于提供与预设温度值对应的红外信号，所述测试器的输出端在位于所述定位槽内时，与所述定位槽同轴设置； 传输件，用于传输所述测试器提供的红外信号，所述传输件的近端插设于所述测温孔内，且与所述测温孔同轴设置； 温度监测器，与所述传输件的远端连接，用于将所述传输件传输的红外信号转换为实测温度值。
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