上海积塔半导体有限公司周维杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利机械手臂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786501U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520007751.X，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型机械手臂装置是由周维杰;常靖华设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械手臂装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种机械手臂装置，通过将机械臂主体连接多个机械臂连接部，同时机械臂连接部通过旋转件连接多个晶圆卡盘，晶圆卡盘包括卡盘承载部和卡盘连接部，所述旋转件位于所述机械臂连接部与卡盘连接部之间，卡盘承载部承载晶圆；此结构可实现晶圆卡盘在所述旋转件的作用下独立旋转操作或选择性成组旋转操作；另外结构中还设有限位件，以保证晶圆卡盘归位时的位置精度。本实用新型的结构有效实现了机械手臂可选择性抓取目标晶圆的操作，解决了实际生产中机台需要将晶圆物理分批的问题，有效节省了晶圆盒资源，减少了人工，降低了生产成本。
本实用新型机械手臂装置在权利要求书中公布了：1.一种机械手臂装置，其特征在于，所述机械手臂装置包括： 机械臂主体，所述机械臂主体包括多个机械臂连接部； 多个晶圆卡盘，所述晶圆卡盘包括卡盘承载部和卡盘连接部，通过所述卡盘承载部承载晶圆； 旋转件，所述旋转件位于所述机械臂连接部与所述卡盘连接部之间，连接所述机械臂连接部与所述卡盘连接部，且通过所述旋转件带动所述晶圆卡盘旋转运行。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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