苏州国微纳半导体设备有限公司陈睿获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州国微纳半导体设备有限公司申请的专利一种用于顶升旋转的双作用机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786499U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423313637.4,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种用于顶升旋转的双作用机构是由陈睿;陈以国;庞浩楠;孟晓燕设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于顶升旋转的双作用机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体晶片加工工艺领域,具体为一种用于顶升旋转的双作用机构,包括固定支架组件,与伺服电机固定连接的同步轮转动时通过同步带传动作用使得与转轴固定连接的同步轮转动,进而带动磁流体本体转动,从而达到与磁流体本体连接的元器件转动的需求,气缸伸出,使得气缸的输出端推动顶升杆向上移动,凭借集成化协同工作实现整体结构紧凑与协同,且同步传动和气缸顶升分别具有可靠性与稳定性,从而使其在多种应用场景中展现出优势,此设计解决了这一系列的问题,通过一个机构就同时满足了旋转顶升且密封的要求,大大节省了空间、提升了安装维护的便捷性、减少了复杂的结构提高了整个机构的稳定性并降低了成本。
本实用新型一种用于顶升旋转的双作用机构在权利要求书中公布了:1.一种用于顶升旋转的双作用机构,其特征在于:包括固定支架组件1,所述固定支架组件1上固定连接有驱动组件2,所述固定支架组件1上转动连接有磁流体组件3,所述磁流体组件3的下端与驱动组件2固定连接,所述磁流体组件3的下端还固定连接有连接组件4,所述连接组件4转动连接在固定支架组件1上,所述连接组件4的下端固定连接有顶升组件5。
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