江苏容道社半导体设备科技有限公司张宽宽获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容道社半导体设备科技有限公司申请的专利一种涂胶显影机用晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786495U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423187288.6，技术领域涉及：H10P72/70；该实用新型一种涂胶显影机用晶圆吸附装置是由张宽宽;符学进;胡二涛;赵生龙;胡根生;张广东设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机用晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种涂胶显影机用晶圆吸附装置，涉及显影机设备领域，包括旋转底座，设于所述旋转底座顶部一侧的圆吊板，吊设于所述圆吊板下方的环形安装板，环形矩阵式设于所述环形安装板下方的多个吸附部件，设于所述环形安装板外侧的数个三级铰接板，设于所述三级铰接板外侧的翻转部件，设于所述三级铰接板内侧的矫正部件；本实用新型是一种非接触式的，能够防止吸附时晶圆掉落，在吸附过程中能够保持晶圆位置不偏移的涂胶显影机用晶圆吸附装置。
本实用新型一种涂胶显影机用晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机用晶圆吸附装置,包括旋转底座10，设于所述旋转底座10顶部一侧的圆吊板11，其特征在于,吊设于所述圆吊板11下方的环形安装板12，环形矩阵式设于所述环形安装板12下方的多个吸附部件13，设于所述环形安装板12外侧的数个三级铰接板14，设于所述三级铰接板14外侧的翻转部件15，设于所述三级铰接板14内侧的矫正部件16。
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