北京科翰龙半导体装备科技有限公司王向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科翰龙半导体装备科技有限公司申请的专利一种晶圆卡塞定位夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786493U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520175726.2，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种晶圆卡塞定位夹具是由王向阳设计研发完成，并于2025-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆卡塞定位夹具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体为一种晶圆卡塞定位夹具，包括卡塞底板，卡塞底板上安装有第一卡塞夹具和第二卡塞夹具，第一卡塞夹具和第二卡塞夹具均为两个，且均为对称设置，卡塞底板的中部安装有位移传感器固定板，位移传感器固定板上安装有位移传感器，第一卡塞夹具和第二卡塞夹具上均开设有若干槽道，槽道为条形结构，第一卡塞夹具和第二卡塞夹具通过锁紧螺栓和锁紧螺母固定在卡塞底板上。该晶圆卡塞定位夹具中，通过在第一卡塞夹具和第二卡塞夹具上开设条形槽道，并配合锁紧螺栓和锁紧螺母，实现了夹具在水平方向上的滑动调节。这一设计使得夹具能够轻松适应不同尺寸的卡塞晶圆盒，大大提高了生产线的灵活性与通用性。
本实用新型一种晶圆卡塞定位夹具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆卡塞定位夹具，包括卡塞底板1，其特征在于：所述卡塞底板1上安装有第一卡塞夹具2和第二卡塞夹具3，所述第一卡塞夹具2和第二卡塞夹具3均为两个，且均为对称设置，所述卡塞底板1的中部安装有位移传感器固定板4，所述位移传感器固定板4上安装有位移传感器，所述第一卡塞夹具2和第二卡塞夹具3上均开设有若干槽道31，所述槽道31为条形结构，所述第一卡塞夹具2和第二卡塞夹具3通过锁紧螺栓32和锁紧螺母33固定在卡塞底板1上，所述第一卡塞夹具2和第二卡塞夹具3通过槽道31和锁紧螺栓32之间的水平滑动调节，对不同尺寸的卡塞晶圆盒6进行夹持定位。
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