苏州松下生产科技有限公司府兆臻获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州松下生产科技有限公司申请的专利一种晶圆专用载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786491U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520068796.8,技术领域涉及:H10P72/50;该实用新型一种晶圆专用载具是由府兆臻;李宝宝;柳晨设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆专用载具在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种晶圆专用载具,包括安装基板和基板载具,安装基板上设有可产生吸力的吸着机构,吸着机构的顶面实施为安放支撑面,安放支撑面实施为与待印刷的晶圆相匹配的向下凹陷的凹面,基板载具设于安装基板上且围绕吸着机构的外周面间隙布置,在基板载具上对应吸着机构的侧边设有一可相对于基板载具水平移动的调整组件,调整组件具有朝向吸着机构方向移动并抵靠在安放支撑面上的晶圆的定位状态和远离吸着机构方向移动并离开安装支撑面上的晶圆的释放状态。调整组件移动以适应晶圆的尺寸误差,通过调整组件压抵在晶圆的侧面上实现晶圆在吸着机构上的横向定位,确保晶圆印刷时的位置固定,进而保证晶圆印刷的稳定性和产品质量。
本实用新型一种晶圆专用载具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆专用载具,其特征在于,包括安装基板和设于所述安装基板上的基板载具,所述安装基板上设有可产生吸力的供待印刷的晶圆安放的吸着机构,所述吸着机构的顶面实施为安放支撑面,所述安放支撑面实施为与所述待印刷的晶圆相匹配的向下凹陷的凹面,所述基板载具设于所述安装基板上且围绕所述吸着机构的外周面间隙布置,在所述基板载具上对应所述吸着机构的侧边设有一可相对于所述基板载具水平移动的调整组件,所述调整组件具有朝向所述吸着机构方向移动并抵靠在所述安放支撑面上的晶圆的定位状态和远离所述吸着机构方向移动并离开所述安装支撑面上的晶圆的释放状态。
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