苏州赛森电子科技有限公司栾广庆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州赛森电子科技有限公司申请的专利一种离子注入机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786490U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423324000.5,技术领域涉及:H10P72/50;该实用新型一种离子注入机是由栾广庆;赵辉设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机在说明书摘要公布了:本申请公开了一种离子注入机,涉及半导体制造技术领域,包括:机台,对准台上设置有感光装置,在对准台上设置有辅助定位装置,辅助定位装置包括:第一定位部;第二定位部;固定装置,固定装置包括对准台上的固定孔以及用于将辅助定位装置固定在对准台上的固定件;软件调整模块;通过设置辅助定位装置,当样片的定位点在辅助定位装置上旋转至第一定位部,且定位在软件调整模块的感应范围内时,感光装置将信号传递至机台,机台将样片取走,且第二定位部的存在,感光装置不会感应到辅助定位装置的存在,可以往复生产,解决离子注入机无法对透明片进行定位的问题,可以使离子注入机可以对透明片进行定位。
本实用新型一种离子注入机在权利要求书中公布了:1.一种离子注入机,包括: 机台,所述机台上设置有对准台,所述对准台上设置有感光装置,其特征在于,在所述对准台上设置有辅助定位装置,所述辅助定位装置包括: 第一定位部,所述第一定位部为一个标准尺寸的缺口设置在所述辅助定位装置的边缘,所述第一定位部与样片的预设定位相匹配; 第二定位部,所述第二定位部为设置在所述辅助定位装置的边缘,所述第二定位部用于避免对所述感光装置的干扰; 固定装置,所述固定装置包括所述对准台上的固定孔以及用于将所述辅助定位装置固定在所述对准台上的固定件; 软件调整模块,所述软件调整模块用于设置所述辅助定位装置感应范围内的初始范围参数。
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