恩斯麦尔(苏州)科技有限公司罗时磊获国家专利权
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龙图腾网获悉恩斯麦尔(苏州)科技有限公司申请的专利一种能够自动下片的晶圆下片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786487U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520118714.6，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种能够自动下片的晶圆下片装置是由罗时磊;杨金堂;张春;王春;萧麟设计研发完成，并于2025-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能够自动下片的晶圆下片装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆下片技术领域，尤其涉及一种能够自动下片的晶圆下片装置。本实用新型提供一种能够自动将晶圆取下，提高晶圆下片效率和晶圆质量的能够自动下片的晶圆下片装置。一种能够自动下片的晶圆下片装置，包括有底座、旋转气缸、加热台和第一支撑架等，底座前部上侧连接有旋转气缸，旋转气缸输出轴上连接有加热台，底座后部上侧连接有第一支撑架。本实用新型通过使铲刀铲进晶圆与陶瓷盘之间，再启动第一气缸，使铲刀向上移动抬起晶圆，此时启动第二电机，带动连接器和旋转架旋转，使得第四支撑架带动刮线旋转，将晶圆刮离陶瓷盘，达到了能够自动将晶圆取下，提高晶圆下片效率和晶圆质量的能够自动下片的效果。
本实用新型一种能够自动下片的晶圆下片装置在权利要求书中公布了：1.一种能够自动下片的晶圆下片装置，其特征在于：包括有底座1、旋转气缸2、加热台210、第一支撑架3、吸附组件、铲动组件和线式刮蜡组件，底座1前部上侧连接有旋转气缸2，旋转气缸2输出轴上连接有加热台210，底座1后部上侧连接有第一支撑架3，第一支撑架3上设有能够吸附晶圆的吸附组件，吸附组件上设有能够铲动晶圆的铲动组件，吸附组件上还设有能够刮蜡的线式刮蜡组件。
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