广州粤升半导体设备有限公司曾庆森获国家专利权
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龙图腾网获悉广州粤升半导体设备有限公司申请的专利多片式外延炉取放片结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786479U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423263802.X，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型多片式外延炉取放片结构是由曾庆森;林逸;陈蛟设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本多片式外延炉取放片结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多片式外延炉取放片结构，其包括工艺腔、搬运机械手、机械手腔、传输腔、托盘底座、旋转升降机构和托盘水平输送机构。本实用新型结构设计合理，通过搬运机械手将多个放置有衬底的石墨托盘逐一放置在托盘底座上，旋转升降机构下降将托盘底座放置在托盘水平输送机构，由托盘水平输送机构将托盘底座送入工艺腔；下料时，托盘水平输送机构将工艺腔内的托盘底座取出并移至旋转升降平台的上方位置，旋转升降平台上升将托盘底座顶起搬运机械手的工作区域，由搬运机械手再将托盘底座上的所有石墨托盘逐一取走，实现一次同时对多片衬底进行工艺生长的目的，显著提高了生产效率。
本实用新型多片式外延炉取放片结构在权利要求书中公布了：1.一种多片式外延炉取放片结构，其包括工艺腔和搬运机械手，其特征在于，其还包括机械手腔、传输腔、托盘底座、旋转升降机构和托盘水平输送机构，所述工艺腔、传输腔和机械手腔依次排列，所述传输腔的一侧上部设有与所述机械手腔的手腔口相连通的上开口，所述传输腔的另一侧下部设有与所述工艺腔的工腔口相连通的下开口，所述旋转升降机构设置在传输腔内，所述托盘底座位于所述旋转升降机构上，所述托盘水平输送机构对应所述托盘底座的一侧位置设置，并能将所述托盘底座于所述工艺腔和传输腔之间往复运输，所述托盘底座上设有若干托盘位。
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