江苏昕感科技有限责任公司谢丰乐获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种防破片的传片机手臂结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786476U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423213554.8,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种防破片的传片机手臂结构是由谢丰乐;王子淳;张跃峰设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防破片的传片机手臂结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域,尤其是一种防破片的传片机手臂结构,包括用于连接控制单元的臂,在所述臂的前端上侧可拆卸连接有吸附座,所述吸附座的端面上具有气孔;其中所述臂的内部具有一气道,所述气孔通过接合组件与所述气道相连通;在所述臂以及吸附座的前端均有一避让面,本实用新型中通过采用在连接部以及吸附座的避让面的设计,用于减薄整体的前端厚度,采用倾斜面结构当臂插入晶圆盒中时减少与晶圆的刚性碰撞问题,其次连接部与吸附座之间的整体厚度采用2mm设计,在保证整体强度的情况下,可提供在晶圆盒的上下晶圆之间更多的移动空间,如此即使晶圆在一定范围内发生翘曲。
本实用新型一种防破片的传片机手臂结构在权利要求书中公布了:1.一种防破片的传片机手臂结构,包括用于连接控制单元的臂1,其特征在于:在所述臂1的前端上侧可拆卸连接有吸附座2,所述吸附座2的端面上具有气孔21; 其中所述臂1的内部具有一气道11,所述气孔21通过接合组件3与所述气道11相连通; 在所述臂1以及吸附座2的前端均有一避让面4。
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