北京燕东微电子科技有限公司靳莹获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利清洗机的晶圆载片盘以及清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786463U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520034114.1，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型清洗机的晶圆载片盘以及清洗机是由靳莹;刘旭;马兰秀;宋健伟;朱大正设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗机的晶圆载片盘以及清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体提供一种清洗机的晶圆载片盘以及清洗机，旨在解决在背面湿蚀刻过程中酸液容易对晶圆正面造成损伤的问题。本实用新型提供的圆载片盘包括外载片盘和内载片盘；外载片盘上设置有安装口，并且被设置成能够承载晶圆；内载片盘设置于安装口内，内载片盘设置有喷液孔，喷液孔被设置成能够向晶圆的边缘喷射清洗液。本实用新型通过喷液孔向晶圆正面的边缘区域喷射清洗液，能够去除流到晶圆正面边缘处的酸液，避免酸液对晶圆正面的管芯图形造成损伤。
本实用新型清洗机的晶圆载片盘以及清洗机在权利要求书中公布了：1.一种清洗机的晶圆载片盘，其特征在于，所述晶圆载片盘包括： 外载片盘100，其上设置有安装口110，并且被设置成能够承载晶圆300； 内载片盘200，其设置于所述安装口110内，所述内载片盘200设置有喷液孔210，所述喷液孔210被设置成能够向所述晶圆300的边缘喷射清洗液。
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