浙江大族富创得科技有限公司杨松获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种晶圆盒读盒闭锁组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786460U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422826392.9,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型一种晶圆盒读盒闭锁组件是由杨松;刘福诚;刘昌胜设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒读盒闭锁组件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种晶圆盒读盒闭锁组件,包括载台板体,所述载台板体设有至少一个用于读取晶圆盒底部标签的感应部和用于微调载台板体高度的调节件;所述载台板体的下端面安装有用于开启与闭合晶圆盒的闭锁机构;所述闭锁机构驱动闭锁杆对晶圆盒的盒盖进行解锁与锁定;本晶圆盒读盒闭锁组件,整体结构精简,将读取功能与开盒锁盒功能进行整合,减小设备体积,控制设备与人力成本,保证了正确的晶圆盒批次流通在运载以及后续加工动作中,提高晶圆加工的整体效率与质量。
本实用新型一种晶圆盒读盒闭锁组件在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒读盒闭锁组件,包括载台板体31,其特征在于,所述载台板体31设有至少一个用于读取晶圆盒底部标签的感应部311和用于微调载台板体31高度的调节件312; 所述载台板体31的下端面安装有用于开启与闭合晶圆盒的闭锁机构33;所述闭锁机构33驱动闭锁杆32对晶圆盒的盒盖进行解锁与锁定。
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