北京日扬弘创智能装备有限公司王宏声获国家专利权
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龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种晶圆溢流清洗水槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786458U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520269662.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆溢流清洗水槽是由王宏声;关仁杰;鲍建盈设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆溢流清洗水槽在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆溢流清洗水槽，包括固定底板，所述的固定底板上设置有水槽；所述水槽的内侧底部设置有导向定位机构和快排口；所述水槽的内部两侧设置有旋转压臂机构；所述的水槽外侧设置有旋转驱动机构；所述的旋转驱动机构与旋转压臂机构相接；所述水槽的任一侧还设置有溢流口和RFID组件；所述的旋转驱动机构内设置有检测元件。采用旋转压臂机构配合旋转驱动机构，若Cassette并未在水槽的导向定位机构当中放置到位，则旋转压臂机构无法下压到位，进而使得旋转驱动机构的气缸工作行程不能达到预定标准。因此，气缸内置的检测元件可及时监测并反馈上述情况，提示Cassette放置姿态不标准，有效避免设备撞机的风险。
本实用新型一种晶圆溢流清洗水槽在权利要求书中公布了：1.一种晶圆溢流清洗水槽，包括固定底板，其特征在于：所述的固定底板上设置有水槽；所述水槽的内侧底部设置有导向定位机构和快排口；所述水槽的内部两侧设置有旋转压臂机构；所述的水槽外侧设置有旋转驱动机构；所述的旋转驱动机构与旋转压臂机构相接；所述水槽的任一侧还设置有溢流口和RFID组件；所述的旋转驱动机构内设置有检测元件。
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