上海积塔半导体有限公司樊蓉华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利湿法槽式清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786454U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520167246.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型湿法槽式清洗设备是由樊蓉华;赖锦平;刘纵曙设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本湿法槽式清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种湿法槽式清洗设备，该清洗设备包括晶圆承载平台、至少一晶圆传送臂和三角形传感器；所述晶圆承载平台设置有多个承载晶圆的晶圆槽；所述三角形传感器包括三个红外线发射端、三个红外线接收端和三个指示灯；三个所述红外线发射端和三个所述红外线接收端分别设置于所述晶圆承载平台和所述至少一晶圆传送臂上；每一所述红外线接收端接收到一所述红外线发射端的发射的红外线时，一所述指示灯发出亮光。本实用新型的湿法槽式清洗设备的晶圆传送臂与晶圆承载平台通过三角形传感器确保晶圆传送臂传输并放置晶圆于晶圆承载平台时的精度，避免晶圆在晶圆槽中的斜插歪插，进而减少清洗工艺对晶圆的损伤，提高清洗后的晶圆的质量。
本实用新型湿法槽式清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种湿法槽式清洗设备，其特征在于，包括晶圆承载平台、至少一晶圆传送臂和三角形传感器； 所述晶圆承载平台设置有多个承载晶圆的晶圆槽； 所述三角形传感器包括三个红外线发射端、三个红外线接收端和三个指示灯；三个所述红外线发射端和三个所述红外线接收端分别设置于所述晶圆承载平台和所述至少一晶圆传送臂上； 每一所述红外线接收端接收到一所述红外线发射端的发射的红外线时，一所述指示灯发出亮光。
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