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河南恒祯实业有限公司赵亚恒获国家专利权

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龙图腾网获悉河南恒祯实业有限公司申请的专利一种用于晶圆加工的晶圆清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223786453U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520162549.4,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种用于晶圆加工的晶圆清洗机是由赵亚恒;马付山设计研发完成,并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于晶圆加工的晶圆清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机,包括清洗放置盒,所述清洗放置盒的外表面固定连接有传导块,所述传导块的内部设置有振动电机,所述清洗放置盒的内壁固定连接有气缸,所述气缸的输出端固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的另一端固定连接有夹持块,所述清洗放置盒的内壁固定连接有承接格板。本实用新型具有以下优点和效果:工作人员将圆片放入清洗放置盒,驱动气缸控制伸缩杆带动夹持块对圆片进行夹持固定,随后驱动振动电机使清洗放置盒振动带动其内部的清洗水源振动加强对圆片外表面的灰尘进行清洗,结合承接格板带入灰尘碎屑下落至排管处对废液进行排放,提升整体装置的灵活性。

本实用新型一种用于晶圆加工的晶圆清洗机在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆加工的晶圆清洗机,包括清洗放置盒1,其特征在于:所述清洗放置盒1的外表面固定连接有传导块2,所述传导块2的内部设置有振动电机3,所述清洗放置盒1的内壁固定连接有气缸4,所述气缸4的输出端固定连接有伸缩杆5,所述伸缩杆5的另一端固定连接有夹持块6,所述清洗放置盒1的内壁固定连接有承接格板7,所述清洗放置盒1的内壁设置有排管8,所述清洗放置盒1的一侧开设有侧口9,所述侧口9的内壁滑动连接有承接盒10。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南恒祯实业有限公司,其通讯地址为:450000 河南省郑州市高新区长椿路11号Y22幢1单元2层237号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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