合肥晶合集成电路股份有限公司倪波获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786452U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520097656.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台是由倪波;张雷设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台。该罩壳结构设置于待清洗的晶圆上方，用于遮挡溅射的清洗液。该罩壳结构包括罩壳和气体喷嘴，罩壳上设有对应遮挡晶圆边缘溅射清洗液的溅射遮挡区。气体喷嘴设置于罩壳内，且用于与气源连接向溅射遮挡区喷射气体，以将溅射至溅射遮挡区的清洗液吹落至晶圆以外的区域。通过气体喷嘴向溅射遮挡区喷射保护气体，对溅射到溅射遮挡区的清洗液液珠吹扫，防止清洗液液珠溅射到溅射遮挡区后的二次溅射或反流，避免晶圆表面有效区受到污染。同时避免多种清洗液混合反应造成在溅射遮挡区结晶，减少工程师在对机台腔室进行预防性维护过程中的维护负担和工作量。
本实用新型一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构，所述罩壳结构设置于待清洗的晶圆上方，用于遮挡溅射的清洗液；其特征在于，所述罩壳结构包括： 罩壳，所述罩壳上设有对应遮挡晶圆边缘溅射清洗液的溅射遮挡区； 气体喷嘴，设置于所述罩壳上，且用于与气源连接向所述溅射遮挡区喷射气体，以将溅射至所述溅射遮挡区的清洗液吹落至所述晶圆以外的区域。
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