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龙图腾网获悉东莞汇乐技术股份有限公司申请的专利一种晶圆加工清洁装置的移动结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786450U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520064639.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆加工清洁装置的移动结构是由王银安;李海燕;楚世赟;李怀俊;许文棋;姚星;蔡俊炜;袁伟杰;张科威;黄文彬;迟浩蓬;陈晓晨设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工清洁装置的移动结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加工清洁装置的移动结构，包括底框，底框的四个边角设有向上延伸竖立的立柱，立柱远离底框的一端设有上框体，底框、立柱与上框体组成安装框架；安装框架中设有安装板，安装板上装设有移动机构，移动机构下面设有除尘机构，移动机构的上面设有气压组件，除尘机构通过导管连接气压组件，除尘机构、移动机构与气压组件设置在安装框架中；移动机构包括第一挂载滑轨、第一齿条座，第一齿条座、第一挂载滑轨固设在安装板下面，第一挂载滑轨与第一齿条座设置在安装板远离立柱的一侧，第一齿条座、第一挂载滑轨与安装板平行设置。本申请的风机与除尘头通过管道连接，风机跟着除尘头一起移动，利于规避碰到附近板、轴。

本实用新型一种晶圆加工清洁装置的移动结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工清洁装置的移动结构，包括：底框11，底框11的四个边角设有向上延伸竖立的立柱12，立柱12远离底框11的一端设有上框体13，底框11、立柱12与上框体13组成安装框架；其特征在于，所述安装框架中设有安装板14，安装板14上装设有移动机构21，移动机构21下面设有除尘机构41，移动机构21的上面设有气压组件61，除尘机构41通过导管59连接气压组件61，除尘机构41、移动机构21与气压组件61设置在安装框架中； 移动机构21包括第一挂载滑轨28、第一齿条座27，第一齿条座27、第一挂载滑轨28固设在安装板14下面，第一挂载滑轨28与第一齿条座27设置在安装板14远离立柱12的一侧，第一齿条座27、第一挂载滑轨28与安装板14平行设置； 第一挂载滑轨28上挂设有可滑动的第一吊挂滑座29，第一吊挂滑座29上固设有第一电机23，第一电机23与第一齿条座27齿合传动连接。

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