深圳市科瑞技术科技有限公司黎明星子获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市科瑞技术科技有限公司申请的专利温控卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786448U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423262598.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型温控卡盘是由黎明星子;黄金彪;韩涛;张晓波设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本温控卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别公开了一种温控卡盘，该温控卡盘包括壳体、传器件及多个导热座，该温控卡盘对晶圆进行冷却时，首先外部压缩冷空气通过进气口和第二传气腔之间的进气管路进入第二传气腔，压缩冷空气进入第二传气腔之后通过多个进气流道进行分流流入至各个导热座的导热腔，并快速地将导热腔内的热量进行吸收，进而降低了上方置物盘上的晶圆的温度，最后完成吸收热量的压缩冷空气再通过多个出气流道汇集至第一传气座的第一传气腔，最后通过出气管路和出气口排出，实现对卡盘的内腔快速冷却。
本实用新型温控卡盘在权利要求书中公布了：1.一种温控卡盘，其特征在于，所述温控卡盘包括： 壳体，所述壳体内形成有容置腔，所述容置腔的腔壁开设有进气口和出气口，所述壳体的一表面用于吸附固定晶圆； 传气件，所述传气件设于所述容置腔内，所述传气件包括间隔设置的第一传气座和第二传气座，所述第一传气座内部设有第一传气腔，所述第二传气座内部设有第二传气腔，所述进气口和所述第二传气腔之间形成有进气管路，所述出气口和所述第一传气腔之间形成有出气管路；及 多个导热座，多个所述导热座间隔设于所述容置腔，并与所述壳体的一表面相贴合，每一所述导热座内部均具有导热腔，多个所述导热座均开设有进气孔和出气孔，每一所述导热座的进气孔与所述第二传气腔之间均形成有进气流道，以使所述导热腔和所述第二传气腔相连通，每一所述导热座的出气孔和所述第一传气腔之间均形成有出气流道，以使所述导热腔和所述第一传气腔相连通。
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