浙江创芯集成电路有限公司杨小龙获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种湿法刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223786446U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423158045.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种湿法刻蚀设备是由杨小龙;张一帆;崔元正设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种湿法刻蚀设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种湿法刻蚀设备，包括：刻蚀腔室；可旋转的晶圆载台，位于所述刻蚀腔室内，用于放置晶圆；回收杯组件，围绕所述晶圆载台设置，以收集所述晶圆旋转时甩出的液体；其中，所述回收杯组件包含多层杯体，相邻的杯体之间具有导流通道；每层杯体的顶端具有挡板，每个挡板用于遮挡该挡板所属的杯体与相邻杯体之间的导流通道的一部分。采用上述技术方案，能够有效处理回收利用的化学液存在串液的问题。
本实用新型一种湿法刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种湿法刻蚀设备，其特征在于，包括： 刻蚀腔室； 可旋转的晶圆载台，位于所述刻蚀腔室内，用于放置晶圆； 回收杯组件，围绕所述晶圆载台设置，以收集所述晶圆旋转时甩出的液体； 其中，所述回收杯组件包含多层杯体，相邻的杯体之间具有导流通道； 每层杯体的顶端具有挡板，每个挡板用于遮挡该挡板所属的杯体与相邻杯体之间的导流通道的一部分。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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