北京中科格励微科技有限公司曹正威获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科格励微科技有限公司申请的专利一种MEMS三维电容器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223785014U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520148034.9，技术领域涉及：H01G4/30；该实用新型一种MEMS三维电容器是由曹正威设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS三维电容器在说明书摘要公布了：本公开提出一种MEMS三维电容器，属于MEMS三维电容元件技术领域。MEMS三维电容器包括：具有沟槽区域的衬底，所述衬底的沟槽区域设置有多个支撑结构以及环绕所述支撑结构的沟槽，所述支撑结构包括至少沿第一方向设置的第一支撑部以及沿第二方向设置的第二支撑部，并且所述第一支撑部和所述第二支撑部交叉相连；至少一层电容结构，所述电容结构包括依次层叠设置于所述沟槽和所述支撑结构上的第一极板层、电介质层以及第二极板层。通过在晶圆衬底上刻蚀图案，形成支撑结构，有利于增加MEMS三维电容器上电容结构中极板的正对面积，从而增大MEMS三维电容器的电容值。
本实用新型一种MEMS三维电容器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS三维电容器，其特征在于，包括： 具有沟槽区域的衬底，所述衬底的沟槽区域设置有多个支撑结构以及环绕所述支撑结构的沟槽，所述支撑结构包括至少沿第一方向设置的第一支撑部以及沿第二方向设置的第二支撑部，并且所述第一支撑部和所述第二支撑部交叉相连； 至少一层电容结构，所述电容结构包括依次层叠设置于所述沟槽和所述支撑结构上的第一极板层、电介质层以及第二极板层。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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