浙江创芯集成电路有限公司杨佳斐获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种光罩的预对准检测系统及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223784625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520231786.1，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型一种光罩的预对准检测系统及半导体制造设备是由杨佳斐设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩的预对准检测系统及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种光罩的预对准检测系统及半导体制造设备，所述光罩包括多个预对准标识，所述预对准检测系统包括：移栽机，所述移栽机包括夹持机构以及移栽机光源，所述移栽机光源包括多个光源发射器；光罩存储盒，所述光罩存储盒包括：多个光罩固定结构，用于固定所述夹持机构放入所述光罩存储盒的光罩；多个光源接收器，一个光源接收器在所述光罩存储盒的光源接收位置对应所述光罩的一个预对准标识的正确对准位置，用于接收一个光源发射器通过一个预对准标识投射至光罩存储盒的光源。本申请实施例提供的光罩的预对准检测系统可以实现对光罩的预对准检测，减少人工参与，提高工作效率。
本实用新型一种光罩的预对准检测系统及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种光罩的预对准检测系统，其特征在于，所述光罩包括多个预对准标识，所述预对准检测系统包括： 移栽机，所述移栽机包括夹持机构以及移栽机光源，所述移栽机光源包括多个光源发射器； 光罩存储盒，所述光罩存储盒包括： 多个光罩固定结构，用于固定所述夹持机构放入所述光罩存储盒的光罩； 多个光源接收器，一个光源接收器在所述光罩存储盒的光源接收位置对应所述光罩的一个预对准标识的正确对准位置，用于接收一个光源发射器通过一个预对准标识投射至光罩存储盒的光源。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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